金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“晶圆载体的检测装置，半导体的工艺设备及其工艺方法”的专利，公开号CN120149205A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆载体的检测装置，半导体的工艺设备及其工艺方法。检测装置包括：测距传感器，设于晶圆传输模块上，用于采集伸入晶圆传输模块内的晶圆载体在竖直方向上的位置数据；以及控制器，被配置为：预设晶圆传输的间隔检测片数；响应于晶圆载体传输完间隔检测片数的晶圆后，在其下一次伸入晶圆传输模块时，经由测距传感器获取晶圆载体在竖直方向上的位置数据；以及响应于存在任一次晶圆载体在竖直方向上的位置数据超出安全高度范围，发出报警并停止晶圆载体的动作。
天眼查资料显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息310条，此外企业还拥有行政许可10个。
本文源自金融界