金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司申请一项名为“晶圆载体的检测装置，半导体的工艺设备及其工艺方法”的专利，公开号CN120149205A，申请日期为2025年03月。专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆载体的检测装置，半导体的工艺设备及其工艺方法
